Grafít vörur og forrit - grafítval fyrir hálfleiðara

Aug 13, 2025

Skildu eftir skilaboð

Hálfleiðaraiðnaðurinn krefst mesta mögulega hreinleika fyrir grafít efni, sérstaklega fyrir grafítíhluti sem komast í beina snertingu við hálfleiðara efni, svo sem deigla og sintrunarform. Óhófleg óhreinindi geta mengað hálfleiðara efnin. Þess vegna er ekki aðeins hreinleiki hrágrafítsins stranglega, heldur gengst það einnig í gegnum hátt - hitastig grafítunar til að lágmarka öskuinnihald.


Semiconductor iðnaður krefst einnig fíns - kornaðs grafít. Fínt - kornað grafít er ekki aðeins auðveldara að vél með nákvæmni, heldur státar einnig af háu - hitastigi og lágmarks slit. Sérstaklega krefjast sintrunarmóts afar mikilli vinnslu nákvæmni. Vegna þess að grafítíhlutir sem notaðir eru í hálfleiðaraiðnaðinum (þ.mt hitari og sintrunarform) verða að standast endurteknar upphitunar- og kælingarferli, verður grafítefnið að sýna framúrskarandi víddar stöðugleika og hitauppstreymi viðnám við hátt hitastig til að hámarka líftíma þeirra. Grafít úr óörvuðu jarðolíu kók er fínt - kornað efni með miklum vélrænni styrk. Það er hægt að nota í rafrænum vörum eins og deiglunum, þunnum plötum, diskum, hitari fyrir tómarúm og hátt - tíðnisofnar, hitaskjöldur, grafít diskar til að bráðna hreina málma, grippara (chucks) fyrir háa - hitastig tilraunabúnaðar, heitt -} pressing dies og síu. Þetta efni getur starfað við hitastig undir 2500 gráðu í óvirku eða verndandi andrúmslofti.

 

Ultra - hreint, hátt - styrkur grafít með hlífðarlagi er gert úr venjulegu fínu - korni grafít sem hefur verið hreinsað og afgasað í tómarúmi, fylgt eftir með yfirborðsþéttingu með pýrólýtísku kolefni. Hægt er að nota þessar vörur (hitari, diskar, grafítrétti osfrv.) Til að rækta kísilþunnar filmur með því að nota gaspípíska vaxtaraðferðina. Þykkt þéttu verndarlagsins sem myndast af pýrólýtísku kolefninu er ekki meira en 2 mm. Þunnt lag af pyrolytic grafít upp í 0,1 mm þykkt er einnig hægt að setja á yfirborð þéttu vörunnar.